Тематика конференции
Предусматриваются пленарные доклады до 30 минут и секционные до 10 минут по четырём секциям.
1. Физико-химические свойства материалов и структур микро- и наноэлектроники.
2. Фазовые равновесия и превращения в материалах электронной техники для микро- и наноэлектроники.
3. Технологии наноматериалов и тонкопленочных структур для микро- и наноэлектроники.
4. Приборы и устройства. Информационные технологии в микро- и наноэлектронике.